코팅 제품은 다양한 분야에서 널리 사용되며 일반적으로 사용되는 고체 필름이며 보호, 단열 및 장식 및 기타 목적으로 사용될 수 있으며, 제조 방법은 주로 기판 물질상의 금속 또는 비금속 화합물을 코팅하기위한 물리적 축적 기술 또는 화학적 축적 기술을 사용하여 코팅을 구성합니다. 그러나 코팅의 제조는 코팅의 적용에 영향을 미치는 내부 응력을 만듭니다. 따라서 응력으로 인한 다양한 고장을 피하기 위해 코팅 구조 내의 응력을 제거하거나 약화시키기 위해 해당 조치를 취해야합니다.
1. 적절한 기판을 선택하십시오
동일한 열 팽창 계수를 갖는 코팅 및 기본 재료를 선택하면 코팅에서 열 응력을 완전히 제거하는 데 도움이됩니다. 두 번째는 코팅의 측정 또는 적용 온도와 필름 형성 온도와 일치하는 것입니다. 또한, 온도의 영향은 필름의 응력의 구성 요소 인 열 응력을 쉽게 제어 할 수 있습니다. 따라서 열 응력의 변화를 통한 고유 응력에 관여하면 필름의 미세한 응력을 향상시키는 데 도움이됩니다.
2. 열 어닐링 처리
코팅에 존재하는 다양한 결함은 고유 응력의 주요 원인입니다. 이러한 결함은 일반적으로 옳고 그름 사이의 균형 결함이므로 스스로 사라지는 경향이 있습니다. 그러나 실종을 일으키기 위해서는 외부 세계가 활성화 에너지를 처리해야합니다. 코팅이 열처리되면 외부 열 에너지가 적용되고 많은 비평 형 결함이 사라 지므로 코팅의 내부 응력이 크게 감소합니다.
3. 중앙 코팅을 추가하십시오
필름의 응력 특성은 고 반사, 반 성거 또는 기타 유전체 필름의 많은 층을 코팅하는 과정에서 동일합니다. 이렇게하면 전체 필름 층의 응력이 높아지고 코팅이 파손되거나 떨어집니다. 필름 층은 변형 취소 개념을 사용하여 필름 층 사이에 축적되며, 프로세스는 필름의 구조 코팅에 반대하는 응력 상태를 생성하여 응력으로 인한 손상을 감소시킨다.
또한, 매트릭스의 재료 특성과 코팅의 재료 특성이 매우 다를 때, 즉, 인터페이스 특성이 일치하지 않고, 상호 작용이 크며,이 힘은 두 재료를 상호 작용시키는 경향이 있으므로 코팅은 큰 변형을 생성하여 내부 응력을 구성합니다. 이 경우, 기판의 표면 처리는 먼저 수행 될 수 있으며, 즉, 서브 레이어가 표면의 습윤성을 높이기 위해 추가 될 수 있으며, 이는 코팅 및 기판의 구조에 전이 역할을하며 구조의 연속성을 유지하며 응력을 감소시킨다.
4. 프로세스 기준을 수정하십시오
코팅 축적 과정에서 공정 파라미터를 변경하면 필름의 잔류 응력 수준에 직접 영향을 미칩니다. 따라서, 필름에서의 응력의 크기는 기판 온도, 작동 공기 압력 및 코팅 동안의 축적 속도를 포함한 공정 파라미터를 변형시킴으로써 조절 될 수있다; 스트레스의 본질조차도 바뀔 것입니다.
예를 들어, 반응 챔버에서 스퍼터링 압력이 증가함에 따라 스퍼터링 코팅의 경우, 고 에너지 이온 (입자)의 농도가 증가하여 가스 분자가 서로 충돌하고 가스 분자의 에너지가 감소되고, 원자 샷 피닝 효과가 약해지고, 감소 된 입자 흐름의 성분이 증가하고, Membrane 및 membrane의 성분이 증가하고, MEM의 성분이 증가하고, MEM의 성분이 증가하고, MEM의 성분이 증가하고, MEM의 성분이 증가하고, MEM의 성분이 증가합니다. 더 작고 인장 스트레스가되고 인장 응력이 먼저 증가한 다음 감소합니다.
5. 스태킹 기술을 향상시킵니다
스택 된 원자의 동역학 에너지는 또한 다양하며, 계면 분산층 구조의 결함 농도와 필름 층 구조는 RF 소스 전력의 변화와 마그네트론 스퍼터링 스택 코팅 과정에서 변화한다. 따라서 코팅의 잔류 긴장은 변화합니다.