DLC 다이아몬드와 같은 코팅은 낮은 마찰 계수, 높은 경도, 대형 탄성 계수, 높은 열전도율, 작은 열 팽창 계수, 우수한 화학적 안정성, 넓은 광학 대역 간격 등의 특성을 지니고 있으며 도구, 곰팡이, 의료 장비, 자동차 부품 및 기타 Appliances의 표면 코팅에 널리 사용됩니다. DLC 코팅이 많은 기능을 가지고 있고 널리 사용되는 기본 이유는 구조적 특성과 그로 인한 기능입니다.
1. DLC 다이아몬드 같은 코팅의 구조적 특성
1) 준 안정 해상도 구조
DLC DLC 코팅은 원소 물질로 구성되어 있지 않으며, SP2 및 SP3 결합을 갖는 준 안정적인 비정질 탄소이며 거의 SP1 결합이 없습니다. 70% 이상의 SP3 결합을 갖는 DLC 코팅은 다이아몬드 코팅과 많은 유사한 특성을 갖는다. 다이아몬드 유사 탄소는 SP2 하이브리드 화 및 SP3 혼성화를 함유하는 비정질 탄소이므로 다이아몬드와 흑연 사이의 중간체 인 특성을 나타냅니다.
2) 화학 결합 분해능 기능
코팅의 기계적 성능은 SP3 결합에 의해 결정됩니다. SP2 결합에 의한 물리적 성능. SP3 대 SP2 결합의 제조 기술 및 비율을 변화시킴으로써 다른 특성이 생성 될 수 있으며, 따라서 다이아몬드 유사 코팅을 얻습니다. 경도에서 다이아몬드에 두 번째로 두 번째로 마모에 대한 효과적인 보호 코팅 역할을합니다. 약한 열 안정성, 준 안정성, 비정질 DLC, 입자 경계, 미세 윤활, 낮은 마찰 계수, 입자 경계 결함이 없음은 적합한 부식 방지 코팅으로 사용될 수 있지만. SP3 결합 및 SP2 결합 외에도, 수소 함유 비정질 탄소 코팅 (AC : H)은 SP3 결합 및 SP2 결합 형태의 하이브리드가 제조 된 탄소 필름이다; 이들 탄소 필름은 모두 좋은 생체 적합성을 갖는다.
또한 다른 많은 부문에 의해 광범위하게 사용되는 다이아몬드 유사 코팅은 또한 다이아몬드와 비슷한 광학, 전기 및 음향 품질을 나타내며 광범위한 광학 밴드 갭, 고 굴절률, 높은 저항력 및 낮은 전자 친화력의 특징을 갖는다.
2. DLC 다이아몬드 유사 코팅의 준비 방법
DLC DLC 코팅은 화학 증기 상 스태킹 (CVD) 및 물리 증기 상 스태킹 (PVD)에 의해 제조된다.
1) 화학 증기 상 축적 방법
화학 증기 상 축적은 고온 또는 혈장 장에서 탄소 함유 화합물의 분화 또는 이온화를 말한 다음, 기판상의 화학 반응을 나타내며 다이아몬드 유사 코팅을 형성합니다. 일반적인 CVD는 높은 축적 온도 및 코팅의 큰 내부 응력과 같은 결함을 가지며, 혈장 강화 화학 증기 상 스태킹 (PE-CVD), 마이크로파-라 디오 주파수 (MW-KF), 직류 글로우 방전 (DG), 무선 주파수 글로우 배출 (RFG) 및 기타 코팅 준비 방법으로 점차 대체되었습니다.
2) 물리 증기 상 축적 방법
DLC 필름은 물리적 증기 상 적층에 의해 제조되며, 탄소는 흑연 표적의 고온 증산 및 가스 이온 스퍼터링을 통해 이온 또는 원자의 형태로 기판에 쌓여있다. 이온 빔 스태킹 (IBD), 마그네트론 스퍼터링, 캐소드 아크 기술 및 PLD (Pulsed Laser Stacking)는 모두 미세한 윤활, 낮은 내부 응력, 강한 접착력 및 작은 마찰 계수로 다이아몬드와 같은 코팅을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.